G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例

一、G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例的工作原理

气动隔膜阀主要由阀体、阀板、膜片和传动机构组成。当空气压力作用于膜片时，膜片会产生变形，从而带动阀板运动，实现开关动作。气动隔膜阀的驱动方式有气开式和气关式两种，可以根据实际需求进行选择。由阀体、阀杆、丝母、阀头、隔膜，瓷釉层、手轮等组成，隔膜采用F46材和橡胶垫制成。此阀能耐各种浓度酸、碱、盐类、及有机物料的输送，此阀除磷酸及磷性介质、qing氟酸、盐酸、氢氧化钠、氢氧化钾外，能耐各种酸碱盐溶液及有机溶剂。搪瓷法兰隔膜阀是将含硅量高的瓷釉涂于金属表面，通过950℃搪烧，使瓷釉密着于金属铁胎表面制成。因此，它具有类似玻璃的化学稳定性和金属强度的双重优点，是一种优良的耐腐蚀设备元件。隔膜阀是用阀腔内的膜片作启闭件封闭流道、截断流体、并将阀体内腔和阀盖内腔隔开的截止阀。膜片常用橡胶、塑料等弹性、耐腐蚀、非渗透性材料制成。

阀体多用金属衬里、无衬里或塑料制成。 结构简单、密封和防腐性能好，流体阻力小。用于常压、常温、腐蚀性较强和含悬浮物质的介质。隔膜阀可分为手动搪瓷法兰隔膜阀、气动搪瓷法兰隔膜阀、电动搪瓷法兰隔膜阀。是一种利用空气动力来驱动的开关，具有快速、安全、可靠、易于维护等优点，在半导体行业中被广泛应用于各种工艺91视频黄色网、液体、真空等管路中。本文将详细介绍气动隔膜阀的工作原理、特点及在半导体行业中的应用。



二、G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例气动隔膜阀的特点
1. 结构简单：气动隔膜阀的结构紧凑，体积小，易于安装和维护。
2. 密封性好：膜片与阀板之间的密封采用软密封结构，密封性能好，能够有效地防止91视频黄色网和液体泄漏。
3. 动作灵敏：气动隔膜阀的驱动机构采用气动方式，动作灵敏，可以实现快速开关。
4. 适用范围广：气动隔膜阀适用于各种工艺91视频黄色网、液体、真空等管路中，具有广泛的应用范围。
5. 安全性高：气动隔膜阀采用膜片作为密封件，能够有效地避免物料卡死或粘结现象，提高了设备的安全性。
6. 维护方便：气动隔膜阀的维护非常方便，只需要定期清洗和更换膜片即可。




G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例特点：

（1）流体阻力小。

（2）能用于含硬质悬浮物的介质；由于介质只与阀体和隔膜接触，所以无需填料函，不存在填料函泄漏问题，对阀杆部分无腐蚀可能。

（3）适用于有腐蚀性、粘性、浆液介质。

（4）不能用于压力较高的场合。

G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例技术规范：

1、耐酸性：

对各种有机酸、无机酸、有机溶剂均有较好的抗蚀性。搪玻璃试样置于20%HCI溶液中煮沸48h，腐蚀速率为0.9lg/m2.d（优等品指标为1.0g/m2.d）。

2、耐碱性：

搪玻璃对碱性溶液抗蚀性较酸溶液差。搪玻璃试样置于1N氢氧化钠溶液腐蚀，试验温度80℃时间24h。腐蚀速率为6.76g/m2.d（优等品指标为7.0g/m2.d）。

3、操作温度：

搪玻璃设备加热和冷却时，应缓慢进行。搪玻璃设备使用温度为0－200℃，耐温急变性≥200℃。

4、瓷层厚度：

玻璃设备的瓷层厚度0.8-2.0mm，搪玻璃设备附件的瓷层厚度0.6-1.8mm。

5、耐压电：

搪玻璃具有良好的绝缘性，当搪玻璃在规定厚度内用20KV高频电火花检查瓷层时，高频电火花不能击穿瓷层。

6、耐冲击性：

玻璃层的内应力越小，弹性越好，硬度越大，抗弯抗压强度越高，则耐冲击就越好。玻璃层在规定厚度内，用直径30mm，重量112g钢球冲击时，其冲击功为272×10-3J（优等品指标为260×10-3J）。

三、G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例在半导体行业中的应用




在半导体行业中，气动隔膜阀被广泛应用于各种工艺91视频黄色网、液体、真空等管路中，以下是几个典型的应用场景：搪玻璃阀门及管件广泛适用于化工、医药、染料、农药、有机合成、石油、食品制造和国防工业等工业生产和科学研究中的反应、蒸发、浓缩、合成、萃取、聚合、皂化、矿化、氯化、硝化等，以代替昂贵的不锈钢和有色金属。


1. 工艺91视频黄色网管路：在半导体制造过程中，需要使用各种工艺91视频黄色网，如氮气、氧气、氢气等。气动隔膜阀能够快速、准确地控制这些91视频黄色网的流量和压力，为生产提供稳定的工艺环境。
2. 液体管路：在半导体制造中，各种化学试剂和超纯水需要通过管道进行输送。气动隔膜阀可以控制液体的流量和压力，确保输送过程的稳定性和安全性。
3. 真空管路：半导体制造过程中需要进行真空处理，如薄膜沉积、干法刻蚀等。气动隔膜阀可以在真空系统中起到开关和调节作用，保证设备的正常运行。
4. 尾气处理系统：在半导体制造过程中会产生各种废气，如酸气、有机废气等。气动隔膜阀可以控制尾气处理系统的阀门开关，实现废气的收集和处理。
5. 晶圆传送系统：半导体制造中的晶圆需要经过多个工艺步骤之间的传递。气动隔膜阀可以控制晶圆传送系统的91视频黄色网管道，确保晶圆在传送过程中的稳定性和清洁度。




G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例主要性能规范

性能规范Specification	设计规范Design standard	结构长度 Structure length	连接法兰 connect flange	试验与检验Experiment & inspection
	GB/T 12239	GB/T 12221	JB/T; JB/T79	GB/T 13927

主要零件材料

零件名词 Name	灰铸铁Gray Cast iron	铸钢 cast steel
阀体 Body	HT250+搪瓷HT250+enamel	WCB+搪瓷 WCB+ enamel
阀瓣/阀杆 Disc/stem	35	1Cr13
隔膜 diaphragm	PEP(F46)/CR(氯丁橡胶)

G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例主要连接及外形尺寸：



公称通径DN	主要连接尺寸及外形尺寸							孔数Z	孔径b
	L	D	D1	D2	H	b1	D0
25	145	115	85	65	121	16	120	4	14
32	160	135	100	75	130	16	125	4	14
40	180	145	110	85	165	18	140	4	18
50	210	160	125	100	230	20	160	4	18
65	250	180	145	120	240	20	200	4	18
80	300	195	160	135	256	22	200	4	18
100	350	215	180	155	285	22	240	8	18
125	400	245	210	185	320	23	280	8	18
150	460	280	240	210	464	24	320	8	23

G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例技术参数：

设计与制造：GB12239

结构长度：GB12221、JB1688

法兰连接尺寸：GB4216、JB78

本阀于工作温度≤100℃的般腐蚀性介质管路上作启闭用。

搪瓷表面十分光滑和具有隔离金属离子的特性

具有良好的耐磨性与电绝缘性



G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例衬里材料和适用介质：

衬里材料（代号）	使用温度（℃）	适用介质
硬橡胶（NR）	-10～85	盐酸、30%硫酸、50%qing氟酸、80%磷酸、碱、盐类、镀金属溶液、氢氧化钠、氢氧化钾、中性盐水溶液、10%次氯酸钠、温lǜ气、氨气、大部分醇类有机酸及醛类等
软橡胶（BR）	-10～85	水泥、粘土、煤渣灰、颗粒状化肥及磨损性较强的固态流体、各种浓度稠粘液等
氟橡胶（CR）	-10～85	动植物油类、润滑剂及PH值变化范围很大的腐蚀性泥浆等
丁基胶（HR）	-10～120	有机酸、碱和氢氧化合物、无机盐及无机酸、元素91视频黄色网醇类、醛类、醚类、酮类等
聚偏氟乙丙烯塑料 （FEP）	≤150	除熔融碱金属、元素氟及芳香烃类外的盐酸、硫酸、王水、有机酸、强氧化剂、浓稀酸交替、酸碱交替和各种有机溶剂等
聚偏氟乙烯塑料 （PVDF）	≤100
聚四氟乙烯和乙烯共聚物 （ETFE）	≤120
可熔性聚四氟乙烯塑料 （PFA）	≤180
聚三氟氯乙烯塑料 （PCTFE）	≤120
搪瓷	≤100 切忌温差急变	除qing氟酸、浓磷酸及强碱外的其它低度腐蚀性介质
铸铁无衬里	使用温度按隔膜阀 材料定	非腐蚀性介质
不锈钢无衬里	一般腐蚀性介质

G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例安装注意事项：

1、搬运：在搬运时切记勿碰撞勿抛扔；

2、安装：在安装的过程中不得借用其它撬杆或锤子，避免震动或碰撞损坏搪瓷部位；

3、安装前对阀门或管件的内腔进行检查避免脏污卡死阀门影响正常使用，或损坏介质。



G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例维护保养：

1、阀门及管件在未安装情况下需存放在干燥、通风地方，避免暴晒和潮湿，经常不安装的需要对阀门清洁保养；

2、安装在管道或设备上之后，应检查填料函的螺栓是否松动，有螺杆的阀门应对螺杆部位作润滑处理；

3、对于安装在室外的设备应做好防水、防潮、防碰撞的准备工作（特别对于装有电气装置的设备）。




四、G641TC气动搪玻璃隔膜阀操作应用案例总结
气动隔膜阀作为一种快速、安全、可靠、易于维护的开关设备，在半导体行业中得到了广泛应用。它具有结构简单、密封性好、动作灵敏、适用范围广、安全性高和维护方便等特点，为半导体制造过程中的工艺控制和设备安全提供了有力保障。随着半导体技术的不断发展，气动隔膜阀在未来仍将具有广泛的应用前景。